各供應商：

  沐鸣2平台沐鸣2平台受用戶委托，以校內密封比價沐鸣2方式進行沐鸣2平台小型臺式無掩膜光刻機項目沐鸣2。

 一、項目內容：

1.項目名稱:小型臺式無掩膜光刻機

2.品牌：TUOTUO

3.型號：PL-3D litho S

4.項目數量: 1 （臺）

5.項目總預算: 470,000.00元(報價超預算,報價單算無效報價單)

二、項目總體要求：

 1、項目總體技術要求

1.1光刻精度：

至少支持三個光刻鏡頭🙍🏿‍♀️：光刻鏡頭1👰🏽‍♀️：精度≤10 µm， DOF≥ 600 µm🕤；光刻鏡頭2： 精度≤5 µm ，DOF≥ 125 µm；光刻鏡頭3𓀕：精度≤2 µm🕧， DOF≥18 µm；

1.2曝光波長🧑🏿‍✈️：385 nm；

1.3光刻速度：

a)  光刻鏡頭1✍🏼🔺：≥950 mm²/min；

b)  光刻鏡頭2🚣🏿‍♀️：≥230 mm²/minⓂ️；

c)  光刻鏡頭3：≥25 mm²/min；

1.4主動對焦功能🪽；

1.5最大膠厚：≥350 µm；

1.6顯微觀測🪰：支持顯微觀測且不會引起光刻膠變性🍕；

1.7樣品厚度：≥10 mm🧛🏽‍♂️；

1.8樣品尺寸🪨🙏🏿：≥100 mm * 100 mm；

1.9設備軟件：支持陣列光刻🌧、尺寸測量、進度顯示🌕；

1.10畫圖軟件：支持陣列畫圖、套刻畫圖💹💃🏽；

 2𓀙、交貨安裝地點：

安裝至沐鸣2平台復合材料協同創新大樓4樓B409-B411室客戶指定地點（沐鸣2平台校園內）

 3、交貨期

  合同簽訂生效後50天

 4、設備安裝調試及驗收

設備到貨後，由供應商到現場對設備進行開箱、清點並安裝調試。

  5📇、售後服務

    設備質保期從設備驗收合格後沐鸣2人簽字認可之日起計算，質保期為1年，報價方詳細闡述售後服務。

 6.付款方式：

    合同簽訂後，預付50%貨款，貨到驗收合格後憑全額發票付清尾款🔎。

三、報價文件截止時間：

2023年10月28日（星期六）上午7：00，為最終報價截止時間📫，報價文件需加蓋單位公章並密封，密封處加蓋單位公章並註意項目名稱，未按時送達視為自動放棄💆。

四🎵、送達或郵寄地址：

    上海市松江區人民北路2999號行政樓123房間 

       徐忠文收  13801833121，

    只收順豐快遞🖕🏿。(請勿以閃送⚀、同城急送等的方式交付文件，快遞外包裝上請標註報價項目名稱)

五、本次沐鸣2的相關要求😉🤽🏻‍♂️：

受邀服務商在報價文件中需提供相關資格證明材料和無不良信用記錄的相關證明（相應網頁截圖）🦧。

相關資格證明材料指：營業執照、組織機構代碼證👩🏿‍🍼、稅務登記證（三證合一的服務商僅需提供“企業法人營業執照副本”）復印件、法人代表授權委托書復印件👲🏼、被授權人身份證復印件、以及具有與本項目相適應的經營範圍。

不良信用記錄指：服務商在“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）被列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單或在中國政府沐鸣2網（www.ccgp.gov.cn）被列入政府沐鸣2嚴重違法失信行為記錄名單。

以上資料均需加蓋公章，提供不全者將可能導致其報價被否決🪮。

 如對本項目內容有任何問題，可咨詢：

      材料科學與工程學院

        孫老師🚶🏻‍➡️，電話：19145600929

 本次報價商務聯系人：徐忠文    電話：021-67792465

                                                                                       2023年10月24日